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EnglishTwo-beam interferometry is a tool of high-precision length-metrology, where displacements are measured to within sub-nanometer resolution and accuracy. Differential wavefront sensing - via phase detection by segmented photodiodes - adds the capability of simultaneously measuring the target translation and rotation. This paper gives an analytical model explaining the observation of fake tilts by a combined x-ray and optical interferometer.
Fake tilts in differential wavefront sensing / Massa, Enrico; Sasso, Carlo Paolo; Mana, Giovanni. - In: OPTICS EXPRESS. - ISSN 1094-4087. - 27:24(2019), p. 34505-34518.
| Titolo: | Fake tilts in differential wavefront sensing |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2019 |
| Rivista: | |
| Citazione: | Fake tilts in differential wavefront sensing / Massa, Enrico; Sasso, Carlo Paolo; Mana, Giovanni. - In: OPTICS EXPRESS. - ISSN 1094-4087. - 27:24(2019), p. 34505-34518. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11696/62225 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11696/62225
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