AFM interlaboratory comparison for nanodimensional metrology on silicon nanowires / Ribotta, L., Delvallée, A., Cara, E., Bellotti, R., Giura, A., DE CARLO, I., Fretto, M., Knulst, W., Koops, R., Torre, B., Boarino, L.. - In: MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY. - ISSN 1361-6501. - (2024). [10.1088/1361-6501/ad5e9f]
AFM interlaboratory comparison for nanodimensional metrology on silicon nanowires
Luigi Ribotta
;Eleonora Cara;Roberto Bellotti;Andrea Giura;Ivan De Carlo;Matteo Fretto;Bruno Torre;Luca Boarino
2024
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