AFM interlaboratory comparison for nanodimensional metrology on silicon nanowires / Ribotta, Luigi; Delvallée, Alexandra; Cara, Eleonora; Bellotti, Roberto; Giura, Andrea; DE CARLO, Ivan; Fretto, Matteo; Knulst, Walter; Koops, Richard; Torre, Bruno; Boarino, Luca. - In: MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY. - ISSN 1361-6501. - (2024). [10.1088/1361-6501/ad5e9f]
AFM interlaboratory comparison for nanodimensional metrology on silicon nanowires
Luigi Ribotta
;Eleonora Cara;Roberto Bellotti;Andrea Giura;Ivan De Carlo;Matteo Fretto;Bruno Torre;Luca Boarino
2024
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