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EnglishA fractional error as large as 25 pm mm(-1) at the zero optical-path difference has been observed in an optical interferometer measuring the displacement of an x-ray interferometer used to determine the lattice parameter of silicon. Detailed investigations have brought to light that the error was caused by light forward-scattered from the beam feeding the interferometer. This paper reports on the impact of forward-scattered light on the accuracy of two-beam optical interferometry applied to length metrology, and supplies a model capable of explaining the observed error.
| Titolo: | Forward scattering in two-beam laser interferometry |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2018 |
| Rivista: | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11696/58598 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| Mana_2018_Metrologia_55_222.pdf | Versione editoriale | Open Access Visualizza/Apri |
http://hdl.handle.net/11696/58598
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