Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers / Boarino, Luca; Monticone, Eugenio; Amato, Giampiero; Lérondel, G; Steni, R; Benedetto, G; Rossi, ANDREA MARIO; Lacquaniti, Vincenzo; Spagnolo, R; Lysenko, V; Dittmar, A.. - In: MICROELECTRONICS JOURNAL. - ISSN 0959-8324. - 30:11(1999), pp. 1149-1154. [10.1016/S0026-2692(99)00078-6]

Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers

BOARINO, LUCA;MONTICONE, EUGENIO;AMATO, GIAMPIERO;ROSSI, ANDREA MARIO;LACQUANITI, VINCENZO;
1999

File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11696/56357
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 10
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 9
social impact