Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers / Boarino, L; Monticone, E; Amato, G; Lérondel, G; Steni, R; Benedetto, G; Rossi, A. M; Lacquaniti, V; Spagnolo, R; Lysenko, V; Dittmar, A.. - In: MICROELECTRONICS JOURNAL. - ISSN 0959-8324. - 30:11(1999), pp. 1149-1154.

Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers

BOARINO, LUCA;MONTICONE, EUGENIO;AMATO, GIAMPIERO;ROSSI, ANDREA MARIO;LACQUANITI, VINCENZO;
1999

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