Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers / Boarino, L., Monticone, E., Amato, G., Lérondel, G., Steni, R., Benedetto, G., Rossi, A.M., Lacquaniti, V., Spagnolo, R., Lysenko, V., Dittmar, A.. - In: MICROELECTRONICS JOURNAL. - ISSN 0959-8324. - 30:11(1999), pp. 1149-1154. [10.1016/S0026-2692(99)00078-6]
Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers
BOARINO, LUCA;MONTICONE, EUGENIO;AMATO, GIAMPIERO;ROSSI, ANDREA MARIO;LACQUANITI, VINCENZO;
1999
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