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EnglishFuture measurements of the silicon lattice-parameter by combined X-ray and optical interferometry require displacement measurements having 10 -9 relative accuracy. Experimental and numerical investigations are under way to bring into light the limiting factors, excluding or identifying and eliminating them.
Laser interferometry in the Si lattice-parameter measurement / Massa, E.; Mana, G.. - (2012), pp. 352-353.
| Titolo: | Laser interferometry in the Si lattice-parameter measurement |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2012 |
| Citazione: | Laser interferometry in the Si lattice-parameter measurement / Massa, E.; Mana, G.. - (2012), pp. 352-353. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11696/64968 |
| ISBN: | 978-1-4673-0442-9 978-1-4673-0439-9 978-1-4673-0441-2 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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