METRICA, l’archivio istituzionale della produzione scientifica dell’Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, ha lo scopo di raccogliere, documentare, conservare e pubblicare, anche ad accesso aperto, i prodotti della ricerca dell’Ente. METRICA utilizza la piattaforma IRIS (Institutional Research Information System) sviluppata da Cineca.
EnglishFuture measurements of the silicon lattice-parameter by combined X-ray and optical interferometry require displacement measurements having 10 -9 relative accuracy. Experimental and numerical investigations are under way to bring into light the limiting factors, excluding or identifying and eliminating them.
Laser interferometry in the Si lattice-parameter measurement / Massa, E.; Mana, G.. - (2012), pp. 352-353.
| Titolo: | Laser interferometry in the Si lattice-parameter measurement | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 2012 | |
| Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1109/CPEM.2012.6250947 | |
| Abstract: | Future measurements of the silicon lattice-parameter by combined X-ray and optical interferometry... require displacement measurements having 10 -9 relative accuracy. Experimental and numerical investigations are under way to bring into light the limiting factors, excluding or identifying and eliminating them. | |
| Full-text (pubblici): | reserved | |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
File in questo prodotto:
| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| 06250947.pdf | Versione editoriale | Non Pubblico - Accesso privato/ristretto | Administrator Richiedi una copia |
Copyright © 2022