Micromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158(1999), pp. 173-178. [10.1016/S0168-583X(99)00382-1]

Micromachining of silicon with a proton microbeam

Rossi, A. M.
Membro del Collaboration Group
;
Amato, G.;Boarino, L.;
1999

File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11696/57326
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 37
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 32
social impact