Micromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P., Manfredotti, C., Fizzotti, F., Lu, R., Vittone, E., Lerondel, G., Rossi, A.M., Amato, G., Boarino, L., Galassini, S., Jaksic, M., Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158:(1999), pp. 173-178. [10.1016/S0168-583X(99)00382-1]
Micromachining of silicon with a proton microbeam
Rossi, A. M.Membro del Collaboration Group
;Amato, G.;Boarino, L.;
1999
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