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EnglishMicromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158(1999), pp. 173-178.
| Titolo: | Micromachining of silicon with a proton microbeam |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1999 |
| Rivista: | |
| Citazione: | Micromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158(1999), pp. 173-178. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11696/57326 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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