Micromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158(1999), pp. 173-178. [10.1016/S0168-583X(99)00382-1]
Micromachining of silicon with a proton microbeam
Rossi, A. M.Membro del Collaboration Group
;Amato, G.;Boarino, L.;
1999
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