Micromachining of silicon with a proton microbeam

Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.

doi:10.1016/S0168-583X(99)00382-1

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Micromachining of silicon with a proton microbeam / Polesello, P.; Manfredotti, C.; Fizzotti, F.; Lu, R.; Vittone, E.; Lerondel, G.; Rossi, A. M.; Amato, G.; Boarino, L.; Galassini, S.; Jaksic, M.; Pastuovic, Z.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 158(1999), pp. 173-178.

Titolo:	Micromachining of silicon with a proton microbeam
Autori:	Polesello, P. Manfredotti, C. Fizzotti, F. Lu, R. Vittone, E. Lerondel, G. ROSSI, ANDREA MARIO [Membro del Collaboration Group] AMATO, GIAMPIERO BOARINO, LUCA Galassini, S. Jaksic, M. Pastuovic, Z. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1999
Rivista:	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Handle:	http://hdl.handle.net/11696/57326
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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