Electron-beam irradiation of porous silicon: Application to micromachining / Borini, S; Amato, Giampiero; Rocchia, M; Boarino, Luca; Rossi, ANDREA MARIO. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 93:(2003), pp. 4439-4441. [10.1063/1.1560853]

Electron-beam irradiation of porous silicon: Application to micromachining.

AMATO, GIAMPIERO;BOARINO, LUCA;ROSSI, ANDREA MARIO
2003

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