Realization of a diamond based high density multi electrode array by means of Deep Ion Beam Lithography / Picollo, F., Battiato, A., Bernardi, E., Boarino, L., Enrico, E., Forneris, J., Monticone D., G., Olivero, P.. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 348:(2015), pp. 199-202. [10.1016/j.nimb.2014.11.119]
Realization of a diamond based high density multi electrode array by means of Deep Ion Beam Lithography
Bernardi E;BOARINO, LUCA;ENRICO, EMANUELE;
2015
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