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EnglishFront-side micromachined porous silicon nitrogen dioxide gas sensor / BARATTO; C; FAGLIA; G; SBERVEGLIERI; G; BOARINO; L; ROSSI; A. M; AMATO G; G. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 391(2001), pp. 261-264.
| Titolo: | Front-side micromachined porous silicon nitrogen dioxide gas sensor |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2001 |
| Rivista: | |
| Citazione: | Front-side micromachined porous silicon nitrogen dioxide gas sensor / BARATTO; C; FAGLIA; G; SBERVEGLIERI; G; BOARINO; L; ROSSI; A. M; AMATO G; G. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 391(2001), pp. 261-264. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11696/31830 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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