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Hybrid Metrology for Nanostructured Optical Metasurfaces / Murataj, Irdi; Angelini, Angelo; Cara, Eleonora; Porro, Samuele; Beckhoff, Burkhard; Kayser, Yves; Hönicke, Philipp; Ciesielski, Richard; Gollwitzer, Christian; Soltwisch, Victor; Perez-Murano, Francesc; Fernandez-Regulez, Marta; Carignano, Stefano; Boarino, Luca; Castellino, Micaela; FERRARESE LUPI, Federico. - In: ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES. - ISSN 1944-8252. - 15:50(2023), pp. 57992-58002. [10.1021/acsami.3c13923] 2023 Irdi MuratajAngelo AngeliniEleonora CaraSamuele PorroLuca BoarinoFederico Ferrarese Lupi + murataj-et-al-2023-hybrid-metrology-for-nanostructured-optical-metasurfaces.pdf
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