Sistema primario ad espansione continua di gas per la misura di pressioni tra 1x10-6 Pa e 9x10-2 Pa

Negli ultimi anni, presso l’INRIM, è stato progettato, realizzato e caratterizzato un nuovo sistema ad espansione continua. Il sistema è il campione primario di pressione di gas nell’intervallo tra 1x10-6 Pa e 9x10-2 Pa con un’incertezza tipo relativa tra 2.1 % e 0.4 %. È basato sull’espansione continua di un gas puro all’interno di una camera che è evacuata attraverso una conduttanza fissa. La pressione è generata mediante un flussometro primario che opera a pressione costante e volume variabile ed è utilizzato per la misura di micro portate di gas con riferimento al vuoto. Si presenta una descrizione del sistema, focalizzando l’attenzione sulle caratteristiche che ne influenzano maggiormente l’accuratezza. È stato introdotto un metodo per la stima di una correzione per l’effetto del regime di transizione e si è compiuta una nuova caratterizzazione della conduttanza fissa.