New Plasma Technique for the Deposition of Silica Layers for Integrated Optics Applications / C., Panciatichi; DE LEO, Maria. - 3936:(2000), pp. 120-129. (Intervento presentato al convegno Photonics West 2000 tenutosi a USA nel 2000).
New Plasma Technique for the Deposition of Silica Layers for Integrated Optics Applications
DE LEO, MARIA
2000
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