Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers / Boarino, Luca; Monticone, Eugenio; Amato, Giampiero; Lérondel, G; Steni, R; Benedetto, G; Rossi, ANDREA MARIO; Lacquaniti, Vincenzo; Spagnolo, R; Lysenko, V; Dittmar, A.. - In: MICROELECTRONICS JOURNAL. - ISSN 0959-8324. - 30:11(1999), pp. 1149-1154. [10.1016/S0026-2692(99)00078-6]
Design and fabrication of metal bolometers on high porosity silicon layers
BOARINO, LUCA;MONTICONE, EUGENIO;AMATO, GIAMPIERO;ROSSI, ANDREA MARIO;LACQUANITI, VINCENZO;
1999
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