Sub-micrometer Resolution Position Sensor for Use in the Active Equipment for Vibration Isolation / Bisi, Marco. - (2001), pp. 334-337. (Intervento presentato al convegno 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE OF THE EUROPEAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY tenutosi a TORINO nel MAY 27-31, 2001).

Sub-micrometer Resolution Position Sensor for Use in the Active Equipment for Vibration Isolation

BISI, MARCO
2001

2001
2ND INTERNATIONAL CONFERENCE OF THE EUROPEAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
MAY 27-31, 2001
TORINO
none
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