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Large-area 3D surface standards with polyimide for calibration of stylus and optical profilometers / Matay, L; Andok, R; Kostic, I; Picotto, G. B.; Pisani, Marco. - In: JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING. - ISSN 1335-3632. - 53:(2002), pp. 214-218. 2002 PISANI, MARCO + -
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